韓国企業が完全に日本から輸入した半導体およびディスプレイ製造プロセスの主要な原材料を見つけることができました。 これは、日本が2019年に3つの主要な半導体とディスプレイ材料の韓国への輸出規制を強化してから3年以内に達成されました。

電子部品と化学材料を専門とするChemtronics（キム・ボギュン社長、写真）は、7日、ウルトラで製造できたことを発表した「プロピレンメチルエーテル酢酸（PGMEA）」を開発しました。高純度（純度99.999％）。

ケムトロニクスの関係者は、「日本が輸出制限を発表した後、EUVPR用のPGMEAを見つけることを目標に製品開発を推進した」と述べた。

PGMEAは、塗料や接着剤などの一般的な製品だけでなく、半導体、液晶ディスプレイ（LCD）、有機発光ダイオード（OLED）などの電子製品の製造にも使用される代表的な溶剤です。 世界クラスの化学会社であるダウとライオンデルだけが、独自の技術でPGMEAを製造しています。 特に、超高純度PGMEAは、2019年7月に日本が韓国への輸出に限定した3つの主要な材料および技術の1つであるEUV PRの主要な原材料です。一方、PGMEAが日本と中国から輸入されると、Chemtronicsはそれを精製しました。そしてそれを国営企業に供給しました。

今回、Chemtronicsは非常に高純度のPGMEAを実現することに成功し、高度な技術を必要とするEUVプロセスの材料技術の独立性を向上させたと考えられています。 材料業界の関係者は、「EUVグレードPGMEAは、EUVエッチングに必要な化学原料であり、洗練されたプロセスであり、最も難しい技術と考えられています。半導体材料の分野で大きなギャップを作る機会になる可能性があります。の意味を超えた技術

具体的には、Chemtronicsは、PGMEAの異性体（β異性体）の濃度を1 PPM（100万分の1を表す単位）未満に下げる技術を確保しました。 ChemtronicsのKimBo-Kyun社長は、「グローバル企業は、PGMEAで危険と分類された異性体の含有量を10PPM未満に減らすことを要求しています」と述べています。 Chemtronicsは、グリーンPGMEA技術の開発と商品化に成功しました。 異性体は、分子式は同じですが構造が異なる物質です。 National Institute for Occupational Safety and Healthによると、PGMEA異性体は生物毒性が高く、不妊症や先天性欠損症を引き起こす可能性があります。 これが、Chemtronicsのパフォーマンスが、環境責任、透明性管理（ESG）の流れが最近世界中で本格化している状況で、電子材料業界における環境に優しい材料の認識を変えることが期待される理由です。

Chemtronicsは、半導体グレードのPGMEA製造プロセス技術を適用することにより、すぐに大量生産に注力することを計画しています。 このため、今年末までに約200億ウォンを投資してPGMEA製造施設を完成させることを目標としています。 材料産業によると、現在のPGMEA国内市場は年間約2400億ウォンです。 今後、半導体産業がさらに成長すれば、市場は1兆ウォンに拡大すると見込まれます。 Chemtronicsの関係者は、「PGMEAから始めて、超高純度で環境に優しい傾向があるため、さまざまな電子材料をローカライズする予定です」と述べています。