DongjinSemichemがEUVフォトレジストを特定-ElectronicTimes

サムスン華城の工場が最終承認を通過しました
両社の2年間のコラボレーション後の急速な発展

Dongjin Semichemは、Samsung Electronicsと共同で、超微細半導体の処理に不可欠な材料である極紫外線(EUV)フォトレジスト(PR)の開発に成功しました。 EUV PRは、2019年の日本における輸出規制のトップ3の1つです。技術的な難しさのために完全に海外に依存していた製品は、国内企業間のコラボレーションによってローカライズされました。

Dongjin Semichemは19日、Samsung Electronicsの(Qual)EUVPR信頼性テストに最近合格したと発表しました。 この問題に精通している業界関係者は、「DongjinSemichemは京畿道の華城施設でEUVPRを開発し、SamsungElectronicsの華城EUVラインでテストして最終品質を取得した」と述べた。

フォトレジストとも呼ばれるPRは、半導体露光プロセスの重要な材料です。 ウェーハに塗布し、半導体露光装置で光を照射すると化学反応が起こり、物性が変化します。 必要な部品だけを残して現像液でPRをすすぐことによってマイクロ回路が描かれます。

韓国では、フッ化クリプトン(KrF)とフッ化アルゴン(ArF)のPRプロセスが大量生産されましたが、より微細な回路を設計できるEUVのPRはありませんでした。 開発が難しかったからです。 韓国で使用されているEUVPRのほとんどは、日本から輸入されたものです。

Dongjin Semichemは、2019年の日本への輸出制限を受けて、EUV PRの開発を加速しました。既存のフッ化アルゴン露光機などの独自のインフラストラクチャと、ベルギーの半導体研究所であるIMECのEUV装置を使用して、EUVPRの位置を特定し始めました。 今年の初めには、EUV PRの専門家を強化し、技術開発を加速させました。 さらに、Samsung Electronicsは、EUVテスト環境を積極的にサポートして、フィールドで使用できるレベルの品質を実現しています。 業界関係者は、「2年間でEUVPRを開発することは非常に難しい」と述べた。

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サムスン電子がすぐにDongjinSemichemEUVPRを半導体生産ラインに投入するかどうかは不明です。 通常、品質を超えた場合は量産ラインに投入されます。 このため、来年上半期までに調達の可能性を見込んでいる方もいらっしゃいます。

サムスン電子とドンジンセミケムは、EUVPR資格についてコメントすることを拒否した。 サムスン電子の関係者は、次のように述べています。

主なスケジュールに関連するDongjinSemichemフォトレジスト

DongjinSemichemがEUVフォトレジストを特定

特派員DongjunKwondjkwon@etnews.com、特派員Jiwoong Kim jw0316@etnews.com

Nakai Katsuo

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